辉光放电质谱实验室

高分辨辉光放电质谱仪

仪器配置：

坤元仪器 Sparkle型

应用范围：

该仪器能实现样品中从锂（Li）到铀（U）、从基体到ppb量级杂质等70多种元素同时进行含量分析，被广泛应用于半导体、高温合金、高纯金属、高纯稀土、特种涂层等材料领域。

技术指标：

质量范围：2~280 amu；质量稳定性：优于25 ppm/30min；质量分辨率：低分辨（LR）≥400，中分辨（MR）≥4000，高分辨（HR）≥10000，单次测量可自动进行分辨率切换；灵敏度：中分辨下，铜样品进样，Cu离子的总离子流峰高≥1E¹⁰cps；离子计数器性能：暗噪声：≤10 cpm；动态范围: 不低于1E¹²；仪器检出限：ppb级别；丰度灵敏度：中分辨下，铜样品进样，测量质量数62相对质量数63丰度灵敏度<10ppb；内部重复性：主量成份< 3%RSD，次量成份< 5%RSD，痕量成份<10%RSD；外部重复性：主量成份<5%RSD，次量成份<10%RSD，痕量成份<20%RSD。